表面檢查燈主要用于檢查玻璃、屏幕、晶圓等材質表面瑕疵（微塵、刮花）和管道等脫脂清洗后的情況。是由高亮度大功率LED陣列經過優化特殊設計而成的光源，發出光線均勻平行較寬的照射大面積，亮度可達到1萬LUX以上。針對LCD面板的灰塵、劃痕、臟污等檢測，可選擇顏色正白，暖白，黃色，綠色等，以適合不同工序使用。
表面檢查燈主要特性如下：
1. 用途：適合于精密工件表面的傷痕及微塵異物的檢查。
2. 高清晰：透過黃綠光，不良物體的清晰度z明顯，可精q檢查 10 um 的刮痕或灰塵。
3. 照射角度：可撓式軟管,可任意調整照射角度。
4. 照射范圍：可調式鏡頭,照射面積廣，效果佳。
5. 光線強度：亮度可以自由調光，選擇合適的條件。
6. 冷光源：不發熱、不傷害被檢查對象。
7. 操作性：主波長為 525、560 nm 之黃綠光，光強度可調,對眼睛較為溫和，提高作業檢測能。
表面檢查燈使用時要避免因紫外線照射損害健康，具體維護方法如下：
1）采購合格的紫外線燈，嚴格按照產品使用說明書進行安裝和使用。做好使用時間記錄，達到燈管使用壽命后，及時更換；
2）紫外線穿透性較差，一般用于光滑表面消毒，對需消毒的部位均勻照射；
3）保持紫外線燈表面清潔；
4）消毒時，當溫度＜20度或＞40度時，或相對濕度＞60%時，應適當延長照射時間；
5）開關設置在距地面2米以上的墻面上，設置開關盒蓋，并在盒蓋粘貼醒目的警告標志；
6）應在無人的情況下使用紫外線燈進行室內空氣消毒；
7）某些類型的紫外線燈在使用過程中會產生臭氧，在消毒完成后應及時通風。
